中原智能传感(河南)研究院是河南省智能传感器中试基地MEMS中试平台的运营主体公司。MEMS中试平台立足河南,面向全国,拥有超净空间16000平方米,包括光刻机等核心设备200台左右,围绕气体传感器、压力传感器、硅麦传感器、惯性传感器和分立器件等产品布局核心工艺,打造核心MEMS加工工艺能力。研究院深入 MEMS 传感器的核心技术。研究院将组建100人左右的专业团队,开发传感领域 卡脖子 的关键共性技术,为企业和院校提供全方位的技术产业化服务,如传感器设计流片验证、传感芯片封装流片验证、敏感材料和MEMS芯片量产工艺开发等多项技术服务,降低企业创新创业成本。
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